inLux™ SEM 라만 인터페이스
현장 SEM 라만 분석을 위한 범용 솔루션
혁신적인 inLux™ SEM 라만 인터페이스는 뛰어난 성능의 라만 기능을 주사전자현미경(SEM) 챔버에 제공합니다. 이제 2D 및 3D 이미지를 생성하면서 SEM 이미징을 동시에 처리하는 라만 스펙트럼을 수집할 수 있습니다. 샘플은 SEM 이미징 모드와 라만 데이터 수집 모드 사이에 계속 고정되어 있으므로 라만 이미지와 SEM 이미지를 비교했을 때 정밀한 코로케이션을 보장할 수 있습니다.
inLux 인터페이스는 광범위한 라만 기능을 제공합니다. 하나의 지점과 여러 지점에서 스펙트럼을 수집하거나 2D 및 3D 칸포칼 라만 이미지를 생성할 수 있습니다. inLux 인터페이스는 이 모든 작업을 위한 모든 기능을 기본적으로 갖추고 있어 각 축에서 0.5 mm보다 큰 규모까지 분석할 수 있습니다. 최저 50 nm까지 지원하는 완전 인코딩 방식의 위치 제어 기능을 통해 정밀한 라만 이미징 처리가 가능합니다.
주요 장점
- 풍부한 정보 - 라만, 광루미네선스(PL) 및 스펙트럼 음극선 루미네선스(CL) 분석을 동시에 수행할 수 있으며 SEM 이미징과의 코로케이션이 가능합니다.
- 범용성 - inLux 인터페이스는 제조업체, 챔버 크기와 관계없이 광범위한 SEM에 장착할 수 있으며 SEM을 수정할 필요가 없습니다.
- 비침투적 - inLux 프로브는 단 한 번의 클릭으로 완전히 후퇴시킬 수 있습니다. 따라서 사용하지 않는 프로브가 다른 SEM 기능이나 워크플로를 방해하지 않습니다.
- 분포도 판별 - 칸포칼 라만 이미지를 기본으로 생성하여 샘플의 이질성을 쉽게 측정할 수 있습니다.
- 샘플 보기 - 넓은 영역의 광학 이미징 및 합성을 통해 샘플을 시각화하고 관심 영역에 초점을 맞출 수 있습니다.
- 구성 가능 - 최대 두 가지의 여기 레이저 파장과 하나의 CL 모듈 옵션을 지원합니다.
- 자동 방식 - 한 번의 클릭으로 레이저 파장을 전환할 수 있어 까다로운 샘플에서도 라만 분석이 가능합니다.
inLux 인터페이스 응용 분야
오염된 부분 식별
라만 분광기는 비파괴적인 비접촉식 기술로 굉장히 구체적인 화학적 정보를 제공할 수 있어 오염된 부분을 식별하는 데 적합합니다. 특히 라만 분광기는 탄소 및 유기 오염물을 분석하는 역량이 뛰어난데, 이러한 오염물은 원소 분석법을 사용해서 구별하기 어렵습니다. SEM은 광학 현미경으로는 처리가 불가능한 작은 오염 입자의 구조를 찾아 연구하는 데 사용할 수 있습니다. 그런 다음 inLux 인터페이스를 사용하면 샘플을 움직일 필요 없이 이러한 입자에 대해 바로 라만 분석을 진행할 수 있습니다.
재료 분석
여러 재료에서 발견할 수 있는 새로운 특성들은 해당 재료의 크기, 형태 또는 두께와 관련이 있습니다. 그래핀, 나노로드, 나노튜브 같은 경우 샘플을 시각화하기 위해서는 주사전자현미경의 높은 배율이 굉장히 중요합니다. 라만 분석의 경우 재료의 화학 및 구조적 특징뿐만 아니라 물리적 특성에 대한 정보도 제공할 수 있습니다. inLux 인터페이스는 SEM과 연관이 있는 결정도, 변이도, 그리고 전자적 특성을 나타내는 라만 이미지를 생성할 수 있습니다.
다양한 Renishaw 라만 시스템과 연결
inLux 인터페이스는 Renishaw의 연구용 라만 분광계 및 소프트웨어와 함께 사용됩니다. 그 결과 포괄적인 처리 및 분석 역량을 갖추고 있는 동시에 직관적으로 쉽게 사용할 수 있습니다. inLux 인터페이스는 산업 오염 식별부터 학술 연구까지 SEM의 활용도를 극대화할 수 있게 도와드립니다.
Virsa™ 라만 분석기
보다 전문적인 라만 분석을 원하는 경우 inLux 인터페이스를 Virsa 라만 분석기와 연결할 수 있습니다. Virsa 분석기는 SEM 내 라만 분석을 대상으로 작은 크기의 비용 효율적인 솔루션을 제공하며 랙 장착형 본체는 연구용 라만 시스템에서 기대할 수 있는 수준의 높은 감도와 뛰어난 스펙트럼 분해능을 갖추었습니다.
Virsa 분석기에 대해 자세히 알아보기
inVia™ 칸포칼 라만 현미경
inLux 인터페이스를 inVia 칸포칼 라만 현미경과 연결하여 세계 최다 판매량을 자랑하는 연구용 라만 현미경에 SEM 내 분석 기능을 추가하십시오. inVia 현미경은 세계 최고 수준의 성능과 감도를 제공하며 다양한 레이저 여기 파장, 검출기 및 격자 구성을 지원합니다. 모든 라만 활성 재료를 분석하는 데 적합합니다. inVia 현미경을 독립적으로 사용해 라만 분석을 진행할 수도 있습니다. 그러면 현장 측정이 필요하지 않을 때 SEM을 다른 사용자가 활용할 수 있습니다.
inVia 라만 현미경에 대해 자세히 알아보기자세히
주사전자현미경이 inLux SEM 라만 인터페이스와 호환되는지 알아보려면 사용 중인 SEM 구성에 대해 알려 주십시오. 아래 링크를 따라 간단한 양식을 작성해 주시면 Renishaw의 전문가가 연락을 드립니다.
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다운로드: inLux SEM 라만 인터페이스
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Brochure: inLux™ scanning electron microscope Raman interface [en]
The innovative inLux SEM Raman interface brings high-quality Raman functionality to your SEM chamber. Now you can collect Raman spectra that can produce images in 2D and 3D whilst simultaneously imaging in SEM.
사양
| 파라미터 | 값 |
| 질량 | 20 kg 미만 |
| 광섬유 케이블 길이 | 4.6 m |
| 호환되는 라만 분광기 | Renishaw inVia 칸포칼 라만 현미경, Renishaw Virsa 분석기 |
| 호환되는 SEM 모델 | 모든 주요 SEM 공급업체의 모델과 호환 |
| SEM 포트 요구 사항 | 비어 있는 SEM 측면 또는 후면 포트 필요 |
| SEM 성능 | inLux 인터페이스는 그 어떠한 SEM 수정도 필요로 하지 않으며 사용하지 않을 때에는 완전히 후퇴시킬 수 있어 SEM이나 다른 액세서리의 작동을 방해하지 않습니다 |
| 이동 제어 | 트랙패드, WiRE 소프트웨어 |
| 접촉 보호 | 터치 센서, 앱솔루트 엔코더를 사용하여 안전한 작업 용적 모니터링 |
| 레이저 안전 | 챔버 진공실에 레이저 인터로킹 |
| 라만 매핑/이미징 | 기본 제공 |
| 광섬유 모듈 선택 | 최대 두 가지의 레이저 여기 파장 + 음극선 루미네선스 모듈 옵션 |
| 사용 가능한 레이저 여기 파장 | 405 nm, 532 nm, 660 nm, 785 nm(요청 시 다른 길이도 제공) |
| 레이저 전환 | 자동, 전동 방식, 소프트웨어 제어 |
| 측면 공간 분해능 | 532 nm에서 1 µm 미만 |
| 칸포칼 성능 | 532 nm에서 6 µm 미만 |
| 스펙트럼 분해능 | 분광기 사양서 참조 |
| 치수 | W 804 mm x H 257 mm x D 215 mm |