미러와 옵틱
Renishaw는 특정 분야에 맞는 솔루션을 제공하기 위해 다양한 옵틱 및 미러 옵션을 제공합니다.
평면 미러
Renishaw에서 제공하는 평면 미러는 열 팽창률이 낮은 유리 기판으로 제조되며 단단한 산화물, 절연 코팅으로 마감되었습니다.
기능 및 이점
- 열적 안정성 - 열팽창율이 낮은 모재를 사용하여 환경 요인 변동으로 인한 오차를 최대한 줄여줍니다.
- 고도 반사율 - 반사도가 높은 미러 표면(>97%)을 통해 최상의 성능을 제공합니다.
- 간편한 장착 - Renishaw 미러 마운트는 설치와 정렬이 간편합니다.
치수
| 단면적 | 25 mm x 25 mm |
| 광학 조리개 | 60 mm ~ 380 mm(10 mm씩 증가) |
사양
| 국지적편평도 | λ/10, 가로 12 mm x 세로 7 mm 이상의 영역에서( λ = 633 nm) |
| 총편평도 | < λ/10 (100 mm 기준), <0.5 µm (500 mm 기준) |
| 교차 분극 | < 0.5% |
| 반사율 | > 입사 빔의 97% |
| 소재 | 열 팽창률이 낮은 유리 |
평면 미러는 구성과 치수가 맞춤형이므로, 특수 주문 품목으로만 공급되며 리드 타임이 더 길고 최소 주문 수량이 적용될 수 있습니다. 또는 페이지 맨 아래 나온 데이터 시트에 제시된 사양을 이용하여 현지에서 구매를 의뢰할 수 있습니다.
미러 마운트
미러를 모션시스템에 장착하여 올바르게 정렬할수 있도록 단면적 25mm x 25mm, 최대길이 350 mm인 미러와 함께 사용할 수있는 조절식 마운트도 Renishaw에서 제공합니다.
이러한 마운트는 편요각 조정 범위가 최대 ±2.5°이고 피치 조정 범위는 ±1°입니다. (실제 조정 범위는 미러 길이에 따라 다름)
기능 및 이점
- 간편한 정렬 - 내장 피치 및 편요각 조정 기능으로 미러를 신속하게 정렬할 수 있습니다.
- 안정적인 마운트 - 필요한 열 팽창을 허용하면서 안정적인 미러 장착대를 제공합니다.
- 비제한적 - 두 면에 미러를 단단히 고정만 하여 미러틀 응력을 줄여서 장착한 후에 미러가 휠 위험을 최대한 줄여줍니다.
Renishaw에서제공하는 미러 마운트는 진공 호환성이 없습니다.
39 mm 진공 챔버 창
Renishaw RLE 광섬유 레이저 엔코더는 간섭계를 사용하여 높은 분해능의 선형 피드백을 제공합니다.
차동 간섭계 헤드(RLD10-X3-DI)는 진공 챔버 벽에 장착하도록 설계되었습니다. 따라서 진공 챔버 창을 통해 검출기 헤드와 측정 미러 사이를 레이저 빔이 통과할 수 있습니다. 진공 챔버 안에서 측정하기 위해 RLD가 필요한 다양한 버전의 헤드(예: RVI20 진공 호환 간섭계)에도 진공 챔버 창을 사용할 수 있습니다.
Renishaw에서 진공 챔버 창을 생산하지 않지만 RLE 시스템의 성능을 최대화하기 위해 사용자 지정 사양에 맞춰 타사 39mm 진공 챔버 창을 공급해오고 있습니다.
장착 권장사항
챔버 벽 안에 챔버 창을 설치할 때 Renishaw에서 권장하는 사항은 다음과 같습니다.
- 창 비틀림과 공칭값에서 빔 편차를 유발할 수 있는 장력이 가해지는 상태로 창을 장착해서는 안됩니다.
- 진공 챔버 벽에 씰이 생성되어 유지될 수 있도록 챔버 창의 적어도 한 면에 O-링을 사용해야 합니다.
15 mm DI 잠망경 어셈블리
잠망경 어셈블리는 RLD10-X3-DI 차동 간섭계 검출기 헤드의 측정 및 기준 빔 간 오프셋을 늘립니다.
이 어셈블리는 두 개의 미러를 사용해서 오프셋을 15 mm 늘려 총 분리 길이를 29 mm(표준 RLD10-X3-DI 오프셋은 14 mm임)로 만듭니다.
기능 및 이점
- 증가된 오프셋 - 측정 빔과 레퍼런스 빔 사이에 15 mm 오프셋을 추가로 허용합니다.
- 고도 반사율 - 반사도가 높은 미러를 사용하여 측정 빔과 레퍼런스 빔 사이 신호 세기 강하를 최소화합니다.
- 표준 마운트 - 잠망경이 표준 DI 헤드 마운트를 유지합니다.
RVI20 진공 호환 간섭계
RVI20은 Renishaw RLD10-A3-XX 검출기 헤드와 함께 사용 시 진공 환경에서 전체 측정 경로를 유지할 수 있는 평면 미러용 진공 호환 간섭계 어셈블리입니다.
RVI20은 진공 챔버 내에 장착되며 레이저 빔이 RLD10-A3-XX 검출기 헤드로부터 챔버 창을 통과해 RVI20로, 이어서 평면 미러로 전달되도록 설계되었습니다.
기능 및 이점
- 상대적 측정 - 기계의 두 요소(예: 공구와 공작물) 사이 상대적 측정을 허용합니다.
- 진공 호환성 - 고진공 분야와 호환되며 진공 챔버 내 장착에 적합합니다.
- 우수한 품질의 옵틱 - RVI20의 RLD 검출기 헤드에 품질이 뛰어난 Renishaw 간섭계 옵틱 어셈블리가 내장되어 있습니다.
RVI20은 진공 환경에서 측정 경로가 필수적인 레이저 엔코더 분야에서 사용하도록 개발된 제품입니다.
제품 정보
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